VPF Vakuum- und Plasmatechnik Flöha

 

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Vakuum- und Plasmatechnik Flöha
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Niederdruckplasmaanlagen in der Oberflächentechnik

PRAktivA 150Der anhaltende Trend zur Oberflächenvergütung verschiedenster Materialien und Objekte erfordert neue innovative Technologien auf diesem Gebiet. Zur Erzielung einer entsprechenden Oberflächengüte sind Reinigungs- und Aktivierungsprozesse unumgänglich, in denen meist organische Kontaminationsschichten abgetragen werden. Vor dem Hintergrund umweltpolitischer Betrachtungen sind dabei die weitverbreiteten nasschemischen Reinigungstechnologien auf FCKW – Basis auf dem Wege, durch andere Medien oder neue Technologien, ersetzt zu werden. Der Druck von gesetzgeberischer Seite dokumentiert sich in entsprechenden Verordnungen und Entschließungen.

An dieser Stelle bieten sich die Niederdruck-Plasmaprozesse als vielversprechende Alternative an. Die Umweltverträglichkeit der Niederdruckplasmaprozesse ergibt sich insbesondere aus einem äußerst geringen Materialeinsatz. (Vakuumprozeß bei weniger als 1 Promille des Normaldrucks) und der damit verbundenen minimalen Abproduktmenge. Darüberhinaus kann die Plasmareinigung durch den Einsatz verschiedener Prozessgase relativ einfach für verschiedene Arten von Kontaminationen eingesetzt werden und dadurch auch zu anderen Verfahren eine sinnvolle Ergänzung bilden.

Um auch kleinen und mittelständigen Firmen und Einrichtungen eine kostengünstige Variante zu offerieren, Plasmareinigungsprozesse auch für kleine Produktmengen anwenden zu können, wurde die modular aufgebaute Anlage PRAktivA 150 zur Reinigung und Aktivierung im Niederdruckplasma entwickelt.

Prinzipansicht der Anlage:

PRAktivA 150 Vakuumkammer Die Vakuumkammer, bestehend aus Aluminium oder Edelstahl, wird mittels einer Vakuumpumpe über ein Drosselventil, welches gegebenenfalls während des Prozesses, die Saugleistung reduziert, evakuiert. Nachdem die Prozessgase eingeführt wurden, wird über die Elektroden die Glimmentladung bei 40kHz bzw. 13,56MHz gezündet. Der Generator ist Bestandteil des Anlagensystems und wird über Druckpunkte, welche von der Steuerung geliefert werden, eingeschaltet.

Alle Anlagenparameter werden durch eine SPS- Steuerung überwacht und geregelt. Die SPS- Steuerung garantiert bei kontinuierlicher Produktion optimal gleichbleibende Ergebnisse. Anlagen welche im Laborsektor eingesetzt werden sollen, können mit einer Bildschirmsteuerung versehen werden. Dadurch besteht die Möglichkeit, freizügig alle Parameter zu ändern und jeden Versuch zu protokollieren und zu dokumentieren.



BohrlochschliffAußer den oben erwähnten Plasmaprozessen besteht noch die Möglichkeit, mittels Polymerisation definierte Schutz- und Sperrschichten auf unterschiedlichste Materialien aufzubringen. In die Vakuumkammer werden hierzu Monomere eingelassen, welche unter dem Einfluss des Plasmas polymerisieren. Die Schichten sind alle äußerst dünn und liegen im Bereich von einem Mikrometer. Die Haftung auf der Oberfläche ist sehr gut. Die Prozesszeiten liegen je nach Grundmaterial und gewünschter Schichtdicke zwischen 60 Sekunden und 10 Minuten.

Mit Einsatz dieser Anlage ist dem Endanwender ein Instrument in die Hand gegeben, welches es ermöglicht, kostengünstig und unter Vermeidung umweltschädigender Abprodukte seine Ziele zu erreichen.

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