Mittelfrequenz-Plasmageneratoren
Mittelfrequenz-Plasmageneratoren kommen in der Regel bei
Niederdruck-Plasmaprozessen zum Einsatz. Beispiele sind das
Feinstreinigen von Oberflächen, das Ätzen von
Oberflächen oder eine Schichtabscheidung von Si-organischen
Schutzschichten.
Unsere Generatoren werden letzendlich aus nur 3 Grundtypen für
Ihren speziellen Einsatzzweck angepasst. Der Leistungsbereich liegt
zwischen 10 und 1500W.
Für den Einsatz an industriellen Vakuumanlagen sind viele der
erhältlichen Generatoren mit allzu vielen unnötigen
Features ausgestattet. Wir verzichten darauf und statten unsere
Generatoren nur mit Komponenten aus, welche an Industrieanlagen
benötigt werden, wie z.B. Schnittstellen zur Steuerung oder
zum Monitoring.Dies macht unsere Generatoren preiswert, läßt uns aber auf der anderen Seite die Möglichkeit offen, Ihre speziellen Wünsche zu erfüllen.
